東京精密｜非接触三次元表面粗さ・形状測定機 Opt-scope NEXシリーズ紹介
精密測定機器のリーディングカンパニーである東京精密（ACCRETECH）が開発した「Opt-scope NEXシリーズ」は、非接触でナノレベルの表面性状を三次元的に測定できる最新鋭の測定機です。今回は、同シリーズの技術的背景と他社製品にはない独自の強みについて詳しくご紹介します。
3D白色干渉顕微鏡とは？
Opt-scope NEXシリーズの中核技術である3D白色干渉顕微鏡は、干渉縞の原理を応用して、物体表面の微細な凹凸を非接触・高分解能・短時間で測定する装置です。
白色光を用いた干渉法により、垂直方向（Z軸）に0.01nmという超高分解能を実現。従来のレーザー顕微鏡や接触式測定機では困難だったサブナノ粗さ、透明体、高アスペクト比構造の測定にも対応します。 [www.accretech.com]
Opt-scope NEXシリーズの特長
◉ 高分解能・広範囲・高速測定
- レンズ倍率に関係なく垂直方向の分解能は一律0.01nm
- 低倍率レンズでも広範囲を1ショットで高速測定
- スキャン速度は最大6倍（高速カメラオプション）
◉ 多様なワークに対応する柔軟性
- 大型ワークピースもカットレスで測定可能（最大搭載荷重96kg）
- 直径300mmの砥石やカムシャフトなどもそのまま測定台に設置可能
- 多品種対応の治具・アライメント提案も可能
◉ フォーカスバリエーション測定機能（オプション）
- 急傾斜やミリメートルレベルの形状も高速測定
- ISO 25178-606に準拠した全焦点画像顕微鏡法を採用
- 白色干渉法との併用で測定範囲を拡張
◉ 透明多層膜の膜厚解析
- 最大7界面までの膜厚・膜厚分布を解析可能
- 光学長1.5μm以上の透明膜に対応
◉ 自動化・省力化を支える拡張性
- 電動XYステージ、電動コラム、スティッチング機能搭載
- セレクタブルなベース・コラムサイズで設置環境に柔軟対応
- 触針式との高い相関性を持ち、従来の測定結果との整合性も確保
他社製品にはない独自の強み
Opt-scope NEXシリーズは、以下の点で他社製品と一線を画しています：
- 垂直方向分解能がレンズ倍率に依存しない設計
- 東京精密独自のピーク検出アルゴリズム「DEAP」による高再現性
- 触針式測定機との相関性を確保し、従来の測定文化との親和性が高い
- ISO/JISの三次元表面性状パラメータに準拠した解析が可能
- サブナノからミリ形状まで1台で対応できる測定範囲の広さ
これらの特長により、半導体部品、精密機械加工部品、樹脂成形品、砥石、ガラス、Oリングなど多様な業界での導入が進んでいます。 [www.accretech.com]
まとめ
Opt-scope NEXシリーズは、非接触・高精度・高速・広範囲という測定ニーズをすべて満たす、次世代の三次元表面粗さ・形状測定機です。従来の測定機では対応できなかった課題に対して、1台で多様なアプローチが可能な点が最大の魅力です。
気になる方は新設された展示場にご同行いたしますので、ぜひお声がけください
よろしくお願いします
釜屋オンライン
